双色测温仪：双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量

2023-04-02 17:59:11 来源：互联网分类：电气知识

　　或许大家还不够了解双色测温仪。今天就双色测温仪的典型应用即多晶硅生产测量来为大家介绍一下。一起来看下吧!

双色测温仪

　　在多晶硅生产开始时，半导体硅芯在还原炉中被高压瞬间击穿，通过硅芯的电流使硅芯达到1080℃的工艺温度，在硅芯由φ7mm~φ180mm成长的过程当中，该工艺温度需要保持不变。但是，随着硅棒直径的不断变大，其相应的阻抗会不断下降，从而使硅棒的受热性下降。为了保持1080℃的硅棒温度不变，只能相应地增加工作电流(电流从开始时的30A，到结束时为2800A)。在动态范围内的大电流变化，对生产设备和操作人员提出了较高的要求。此外，硅棒的熔点在1420℃左右，因此准确测量多晶硅的温度是非常重要的。

　　测量难点：

　　1、开始生产时硅芯的直径仅为φ7mm，且目标尺寸过小。

　　2、单色红外测温仪测量硅棒温度时，设备需要安装在还原炉外部，通过密封窗口瞄准炉内目标。窗口污染对透光率的影响造成了实际测量的偏差。

　　3、双层玻璃窗对红外信号的损耗影响较大。

　　采用双色测温仪的优点：

　　1、利用双色测温仪原理，直接测量目标的实际温度，不受材料辐射率的影响，无需对发射率进行补偿。

　　2、目视瞄准，直视目标。

　　3、对轻微的窗口污染不敏感。

　　4、不再依赖红外能量，对信号损耗不敏感。

　　以上便是为您介绍的双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量，希望对您有所帮助!

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双色测温仪：双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量