金皖真空泵厂家在半导体行业真空泵应用效果

2023-04-10 10:11:08 来源：互联网分类：工业机械知识

金皖真空泵厂家在半导体行业真空泵应用效果半导体行业中的电子加速、光电器件、电子材料、射线管、晶振、继电器、激光、离子注入设备、离子刻蚀机、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、分子束外延设备、集成电路封装、其他半导体应用设备等。均在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等等键合工序里所需用真空为（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。半导体真空泵是半导体各工艺制程环节必备的通用设备。半导体产业链主要分为IC设计、晶圆制造和芯片封测三大环节。一般来说晶圆制造可以细分为前道和后道两个工艺步骤。前道工艺是将硅材料加工制造成晶圆片，通过光刻机曝光等多道工序将IC设计图案加载到晶圆上，制成集成电路；后道工艺是将载有集成电路的晶圆分割成基本单元，通过封装、测试后制成最终的集成电路产品，半导体真空泵可广泛应用于晶圆制造过程当中的单晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、测试等清理或严苛制程。一、半导体行业真空系统要求半导体生产制造过程当中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，电子半导体行业要求真空系统大体分为三个等级。 1、清理条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸气的空气。 2、中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物。 3、恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物（有毒甚至致癌）及固体颗粒物。二、半导体的真空泵应用部分生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少，保持工作空间的洁净，主要使用的真空泵类型包括干泵（干式螺杆真空泵、爪式泵）和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大，单机功率较小。清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，此类应用主要采用水环泵和多级离心风机，因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机，真空源是其系统的一部分。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵都是工艺真空中普遍的真空设备。三、半导体真空泵行业特色半导体用真空泵对产品可靠性、定制化、能源效率要求较高。 1.可靠性：半导体用真空泵直接关系到芯片的性能、良率，对产品可靠性有较高要求，工作过程需要不断保养，可靠性高的产品能减少维修次数，下降客户使用成本。 2.定制化：在半导体制造领域，由于每条生产线工况都不相同，客户对解决方案和产品的需求更加定制化。 3.能源效率：在Fab能源消耗中，真空产品占整个能源消耗的20%，提高能源效率可以减少客户的能源消耗。

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