硅片切割：金刚石线切割与传统工艺相比具有哪些优点？

2024-06-30 21:50:13 来源：互联网分类：电气知识

与传统砂浆切割工艺相比，金刚石线硅片切割技术具有以下优点：

1、切割效率高，速度提高五倍。单片切割时间传统砂浆切割约10小时，金刚石线切割仅需2小时。硅片切割效率高主要得益于其技术特色：一是金刚石线采用固定方式将金刚石颗粒结合在一起。与砂浆丝的游离磨料相比，它不仅参与了更多的金刚石的磨削和切割（泄漏更少），而且减少了磨料之间的相互磨损。其次，金刚石硬度高，耐磨性强，切割时间长，使用年限长。三，金刚石线固定的金刚石的运行速度与切割线相同，而自由砂浆的运行速度低于切割线。

2、材料损耗少，成品率高。切割线直径越大，硅片切割时切缝越大，造成材料损失越大。切割线的直径是裸线直径和磨料/刀片直径的总和。由于金刚石线切割能力强，其涂层比切削液和碳化硅混合形成的砂浆更小更薄，刀缝损失更少。

另外，金刚石线切割造成的损伤层比砂浆线切割小，有利于切割更薄的硅片。更细的线径和更薄的切片有利于减少材料损耗，提高硅片切割的良率。目前硅片的厚度多为180-200μm，砂浆切割的刀隙损失在150μm左右，金刚石线切割的刀隙损失在80μm左右。因此，金刚石线切割可提高15%左右的产量。

3、环境污染少。砂浆切割会产生大量用于晶体硅切割的废砂浆，废砂浆中含有碳化硅、聚乙二醇、硅粉和金属粉，对环境构成较大威胁。一些粒径小于0.15μm的硅粉与水或潮湿空气接触。它会迅速反应并释放可燃气体氢气和热量。如果不可准确利用和处置，将会造成严重的污染。金刚线采用水性碾磨液（主要是水），有利于改善工作环境，简化后续的清洗等加工工序。