离子束加工技术：什么是离子束加工？

2024-11-03 16:41:23 来源：互联网分类：电气知识

离子束加工技术的基本原理

在离子束加工过程当中，电子枪在真空条件下产生电子束，然后电子束被引入到已经被抽空并充满惰性气体的电离室中，以电离低压惰性气体。从阴极提取的阳离子被加速并成束，注入工件表层。

离子束加工装置主要由电子枪真空系统、控制系统和电源系统四部分组成。

离子束加工技术的特色

1.是一种精密精细的加工方法。

2.非接触加工不会产生应力和变形。

3.处理速度快，能量利用率可高达90%。

4.加工过程可以自动化。

5.它是在真空室中进行的，污染少，材料的加工表层没有氧化。

6.离子束加工需要一整套专用设备和真空系统，价格昂贵。

7.因为离子束密度和离子能量可以精确控制，所以加工效果可以控制。

8.加工应力小。变形小，对材料适应性强。

9.由于加工是在较高的真空度下进行的，所以污染较小，特别适合加工易氧化的材料。

离子束加工技术的应用

1.蚀刻过程:

离子刻蚀用于加工陀螺仪空气轴承和动压电机上的凹槽，分辨率高，精度好，重复性好。

离子束蚀刻应用的另一个方面是蚀刻高精度图形，例如集成电路、光电器件和光学集成器件。

太阳能电池表层具有非反射纹理表层。

离子束刻蚀也用于薄化材料和制作透射电子显微镜标本。

2.离子束涂层处理:

离子束镀膜有两种形式:溅射沉积和离子镀。

有很多种材料可以通过离子镀进行电镀。金属或非金属薄膜可以镀在金属或非金属表层，也可以镀各种合金、化合物或一些合成材料、半导体材料和高熔点材料。

离子束镀膜技术可用于润滑膜、耐热膜、耐磨膜、装饰膜和电膜的镀膜。