一种使用年限更长的真空磁控溅射镀膜机介绍

2024-08-23 04:23:09 来源：互联网分类：工业机械知识

根据镀膜工艺原理，真空镀膜机大概可分为以下几种：真空蒸发镀膜机、真空磁控溅射镀膜机、多弧离子镀镀膜机等。其中，真空磁控溅射镀膜机主要是利用辉光放电将氩离子冲击到靶材表层，等离子体中的阳离子会加速到衬底的负极表层，使靶材的原子喷射沉积在衬底上形成薄膜。目前市场上普遍的一种真空磁控溅射镀膜机由抽气系统、真空室、真空室门等组成。工作时，真空室中的气体被抽气系统抽走，使真空室持续处于负压真空状态，从而保证基板镀膜的质量。工作结束后，工人需要打开真空室门，从真空室中取出衬底。真空室长期处于负压状态，真空室门很难打开。

　　鉴于现有技术的上述缺点，技术人员提供一种新型磁控溅射镀膜机。它通过以下技术方案实现的：该真空磁控溅射镀膜机包括真空室，真空室上设置有门体，真空室上设置有抽气口，真空室外部设置有与抽气口连通的抽气系统，门体与真空室转动连接，真空室上设置有助开组件，助开组件包括助开杆。其工作原理为，当基板镀膜后需要将基板从真空室中取出时，抽气系统与真空室外部的抽气口断开；然后打开锁定组件，然后工人将开启辅助杆的一端压离门体，并将开启辅助杆压向远离门体的方向。在按压助开杆的端部远离门体的过程当中，助开杆靠近门体的端部产生作用力，推动门体打开，最终推动门体打开。通过设置助开组件，当镀膜工作结束后需要取出基板时，工作人员只需在打开锁紧组件后按压助开杆，即可将门体推离真空室，进而方便打开门体。

另外，在制作该磁控溅射镀膜机要注意：助开杆靠近真空室的一端可转动地设有滚轮，门体上设有供滚轮滑动的滑槽。助开杆上套装有连杆，助开杆上设有用于将连杆固定在助开杆上的定位件。真空室还设有锁紧组件，锁紧组件包括固定设置在真空室上的固定件、固定设置在门体上的定位件和锁紧螺栓，锁紧螺栓的头部抵靠在定位件远离固定件的一侧。

综上所述，该真空磁控溅射镀膜机具有以下有益的技术效果：1.通过设置开启辅助组件，当镀膜工作结束后需要取出基板时，工作人员只需在开启锁紧组件后按压开启辅助杆，即可将门体推离真空室，方便打开门体；2.通过优化结构，一方面减小了助开杆对门体的摩擦力，从而节省了按压助开杆时所需的力气；另一方面，辅助开启杆本身的摩擦力减小，延长了辅助开启杆的使用年限。

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