离子源供应商：离子源的原理

2023-08-15 08:47:13 来源：互联网分类：电气知识

离子源供应商等离子体是指被激发的气体达到一定程度的电离（> 10-4），并且该气体处于导电状态。这种状态下的电离气体是由大量接近自由运动的带电离子组成的系统，因此总体上很精确。中性。粒子运动和电磁场（粒子之间的外部电场和自洽场）是不可分割的。相互作用的电磁力是一个远程力，它使等离子体表现出集体行为的特征，即电离气体中的每个带电离子其运动都会影响其周围的带电离子，并且还受到其他离子的约束。带电粒子。由于电离气体的总体行为是电中性的，也就是说，电离气体中正电荷和负电荷的数量相等，因此该气体的状态为等离子体状态，称为等离子体。由于它的独特行为与固态，液态和气态完全不同，因此也称为物质的第四态。

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离子源是离子束溅射（IBS）和离子束处理（IBF）设备的关键组件。离子束源目前主要包括考夫曼离子源，微波ECR离子源和RF离子源。其工作原理是利用气体放电产生等离子体。等离子体由电子，离子和中性粒子组成，它们被拉成束并成为离子源。

离子源有两个栅格（或三个栅格），分别是屏幕栅格和加速栅格。在两个电极之间施加电压。电压的正极连接到屏蔽栅，负极连接到引线。因此，在提取电极之间形成等离子体边界和用于加速离子的电场。离子从等离子发射表层发射后，它们会被电场加速，穿过小孔形成离子束，然后穿过中和器直接轰击基板或目标。中和剂的目的是避免电荷在基材上积聚以排斥后续离子。

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