电子束蒸发镀膜机的优点

2024-09-29 02:18:14 来源：互联网分类：电气知识

在玻璃/PC/PMMA基板上形成高精度光学多层膜的电子束蒸发镀膜机；通过组合各种满足客户需求的组件，可以形成质量更好的薄膜。基板伞架采用旋转模式(公转)，减少振动和颗粒，使基板稳定旋转。

　　电子束蒸发镀膜机采用电子束加热，不用坩埚上的片作为蒸发源，可以稳定地形成多层薄膜；利用我公司独特的比例控制方法和多点在线监测，可以形成高精度、稳定的光学多层膜；可以使用可操作性好的电梯来取出基板伞架。

　　电子束蒸发镀膜机采用均匀分布的高离子电流密度离子源，配备双电子枪，可在多点和环形坩埚中镀100层以上，采用自动蒸发控制系统实现全自动蒸发过程。工件架可以是钟罩式或行星式。

　　电子束蒸发镀膜机薄膜测试标准:

　　1.电子束蒸发镀膜机初始接触角范围为115°±5°；

　　2.电子束蒸发镀膜机钢丝绒摩擦阻力测试标准:使用0000#钢丝绒，面积10*10mm，行程40次/min，负载1Kg，往返摩擦5000次后接触角大于100°；

　　3.电子束蒸发镀膜机皮擦测试标准:直径6mm皮擦，行程25次/min，负载1Kg，往返摩擦2500次后接触角大于100°；

　　备注:试样的玻璃应是经过抛光的触摸屏盖板专用玻璃，表层光滑。

　　电子束蒸发镀膜机优点:

　　1.电子束蒸发镀膜机提高沉积速率以获得更高的产量；

　　2.电子束蒸发镀膜机在半导体、光电子和光子学领域实现高精度工艺；

　　3.电子束蒸发镀膜机坚固耐用，易于维护。

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