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射频离子源基本介绍

2023-03-23 14:45:11 来源:互联网 分类:电气知识

  离子源是使中性原子或分子电离并从中吸取离子束的设备。 随着离子源技术的不断发展,其在涂料中的应用越来越广泛,对离子源本身的要求也越来越高。 高。 离子源技术多种多样,如何挑选合适的离子源已成为涂料应用中的重要环节。今天小编就给大家讲解下射频离子源基本介绍。

射频离子源

  射频离子源由射频电源供电,并由匹配设备自动匹配以产生等离子体,并且离子束在栅格的作用下被拉出。 流程如下:

  1.放电室的线圈在感应耦合下产生等离子体。

  2.离子束和屏蔽栅通过电源连接,因此等离子体相对于地面处于正电位。 加速网格通过电源以负电位连接到地面。 通过屏幕过滤的离子束将被加速。

  3.在栅极的下游,电子通过中和器注入离子束中,形成电荷平衡。

以上就是常州鑫立离子技术有限公司小编收集的内容,如有需要请与我们联系。公司是以一家专业从事高端离子源技术、离子束加工开发的创新型公司,公司具有射频离子源系统、离子束加工技术、离子束加工、射频离子源整机装备制造和应用的研发与设计能力,目前已与多家科研究院所及国内知名镀膜设备生产、应用公司进行合作。公司于20186月份推出了完全自主研发的射频离子源系统,填补了国内在高能射频离子系统的空白,促进国内光学镀膜以及高端离子加工产业的产品升级和整体竞争力提升。也可称之为“离子源供应商、离子源厂家”。


射频离子源基本介绍

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