电子显微镜的成像原理是什么?

2023-04-08 17:29:13 来源：互联网分类：电气知识

　　电子显微镜，是以电子束为照明源，通过电子电流对样品进行透射或反射，再经电磁透镜多级放大后，在荧光屏上成像的大型仪器。经过50多年的发展，它已经成为现代科学技术中不可或缺的重要工具。电子显微镜技术的应用是以光学显微镜为基础的，那么电子显微镜的成像原理是什么?

　　电子显微镜成像的原理是什么:

　　电子显微镜通过用聚焦电子束扫描样品表层来产生样品表层的图像。

电子显微镜

　　电子与样品中的原子相互作用，产生各种包含样品形貌和成分信息的信号。电子束通常以光栅扫描模式扫描，并且电子束的位置与检测到的信号结合以生成图像。

　　电子显微镜的分辨率优于1纳米。样品可以在高真空、低真空、潮湿条件下(用环境扫描电子显微镜)和各种低温或高温下观察。

　　普遍的电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子。可以探测到的二次电子数量取决于样品的形貌和其他因素。

　　通过扫描样品并用特殊的检测器收集发射的二次电子，就可以生成显示表层形貌的图像。也可以产生样品表层的高分辨率图像，并且图像是三维的，从而识别样品的表层结构。

　　以上内容是对电子显微镜成像原理的介绍。电子显微镜是20世纪的一项重要科技发明。它是一种电子光学器件，利用电子与物质相互作用产生的信号来确定晶体结构、微观结构、化学成分、化学键和电子在微区的分布。常用的有透射电子显微镜和扫描电子显微镜。与光学显微镜相比，电子显微镜用电子束代替可见光，用电磁透镜代替光学透镜和荧光屏对不可见的电子束成像。