阜阳

浙江半导体硅片激光钻孔微孔加工

200元2022-12-08 08:23:05

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信息详情

硅片切割机又名硅片激光切割机,激光划片机。是激光划片机在 电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片

硅片激光切割设备的特点:

·高配置:采用进口光纤激光器,光束质量更好(标准基模)、切缝更细(30μm)、边缘更平整光滑。

·免维护:整机采用国际标准模块化设计,真正免维护、不间断连续运行、无消耗性易损件更换。

·操作方便:设备集成风冷设置,设备体积更小,操作更简单。

·专用控制软件:专为激光划片机而设计的控制软件,操作简单,能实时显示划片路径。

·工作效率高:T型台双工位交替运行,提高工作效率。

硅片的分类:

硅片规格有多种分类方法,可以按照硅片直径:4寸、6寸、12寸、3英寸、2英寸;单晶生长方法:单晶硅片、多晶硅片;掺杂类型:N型、P型等参量和用途来划分种类。

传统机械加工硅片的劣势:

传统硅片切割方式是机械切割,速度慢、断面平整性差、碎片多、不环保。硅是一种脆性材料,机械切割极易使边缘产生破裂,造成硅表面弹性应变区、位错网络区和碎晶区的组成层损伤,甚至可能造成隐形裂纹,影响电性参数等危害。激光切割技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;

激光切割于传统机械切割硅片相比,是一种行的加工方式,有一下几点加工优势:

1、激光加工一步即可完成的、干燥对的加工过程。

2、边缘光滑整齐,不需要后续的清洁和打磨。

3、激光加工的分离过程产生高强度、自然回火的边缘,没有微小裂痕。使用激光加工避免了不可预料的裂痕和残破,提高了成品率。

1.激光切割、划片是非机械式的,属于非接触式加工,可以避免出现芯片破碎和其他损坏现象。

2.激光切割、划片采用的高光束质量的光纤激光器对芯片的电性影响较小,可以提高更高的切割成品率。

3.激光切割速度为150mm/s。切割速度较快。

4.激光可以切割厚度较薄的晶圆,可以胜任不同厚度的晶圆划片。

5.激光可以切割一些较为复杂的晶圆芯片,如六边形管芯等。

6.激光切割不需要去离子水,不存在刀具磨损问题,可连续24小时作业。

7.激光具有很好的兼容性,对于不同的晶圆片,激光切割具有更好的兼容性和通用性。

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