dressler电源维修LFGS-1250C射频电源维修

LFGS射频发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D类型放大器理念，是一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理设备上。

维修范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频RF电源及匹配器维修，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP设备电源，包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。

测试一板上滤波电容上无380VDC电压。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，测量场效应功率开关管无V0波形，由于FA5331(PFC)为贴片元件，机器用久后出现V0端与板之间虚焊，V0信号没有送到场效应管。当滤波电容上无380VDC左右电压时，说明PFC电路没有正常工作，PFC模块关键检测脚为电源输入脚VC，启动脚Vstart/control，C/RT脚及V0脚，将V0端与板上焊点焊好，用万用表测量滤波电容有380VDC电压。当Vstart/control端为低电平时，PFC亦不能工作，则要检测其端点与外部相连的有关电路。