半导体设备灭火方案，为精密生产构筑安全防火墙

上海翌灿智能科技有限公司 2025-06-13 09:46:18

在半导体制造过程中，生产设备往往需要在高温、高压、高精度的环境下运行，同时还会使用大量易燃的特种气体和化学品。一旦发生火灾，不仅会造成昂贵的设备损坏，还可能导致整条生产线停工，带来巨大的经济损失。因此，半导体设备灭火装置成为保障生产安全的重要防线。

半导体设备的火灾风险
半导体工厂的洁净室内布满精密仪器和复杂的电气线路，同时在生产过程中会使用氢气、硅烷等易燃气体。这些气体一旦泄漏，遇到电火花或高温就可能引发火灾。此外，设备长时间运行可能导致局部过热，进一步增加火灾风险。如果火势蔓延，不仅会烧毁设备，还会污染生产环境，导致芯片良率下降。

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