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快速响应系统,为半导体设备打造毫秒级火灾预警灭火体系

上海翌灿智能科技有限公司 2025-06-13 09:54:59

在半导体制造过程中,生产设备往往需要在高温、高压、高精度的环境下运行,同时还会使用大量易燃的特种气体和化学品。一旦发生火灾,不仅会造成昂贵的设备损坏,还可能导致整条生产线停工,带来巨大的经济损失。因此,半导体设备灭火装置成为保障生产安全的重要防线。

快速响应系统,为半导体设备打造毫秒级火灾预警灭火体系
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半导体设备的火灾风险
半导体工厂的洁净室内布满精密仪器和复杂的电气线路,同时在生产过程中会使用氢气、硅烷等易燃气体。这些气体一旦泄漏,遇到电火花或高温就可能引发火灾。此外,设备长时间运行可能导致局部过热,进一步增加火灾风险。如果火势蔓延,不仅会烧毁设备,还会污染生产环境,导致芯片良率下降。

快速响应系统,为半导体设备打造毫秒级火灾预警灭火体系

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