一台完整的镀膜机通常包括以下主要组成部分：
1.真空腔体：用于产生和维护真空环境，主要包括吸气、排气、内外罩壳、维护装置、真空系统等相关设备。
2.基片夹持系统：用于固定需要进行镀膜的基片，通常采用机械夹持或者磁力夹持的方式。
3.靶材或者源材料：用于镀膜过程中的材料来源，通常是固体靶材或者液态源材料。
4.镀膜控制系统：用于对镀膜过程中各个参数的控制和监测，包括真空度、电压、电流、工件温度、镀层厚度等参数的监测和调整。
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