我公司专业维修磁控溅射电源、RF射频电源、真空镀膜电源、MF中频电源、美国镀膜电源、德国ROF射频电源等，公司拥有多名在工业电源维修方面经验丰富的工程师并配有的齐全的维检设备，还搭建了配套测试平台，修复时间短，成功率高，备件充足且

有快捷的电子配件进货渠道，大大缩短了维修时间，为客户羸得宝贵的时间。服务周到、价格实在。

部分维修型号

AE电源系统:

AE电镀电源、AE射频电源 RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV

APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013

Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F

RFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX

RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500

HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M

HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW

Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162

ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW

Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300

Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220

美国COMDEL射频电源:

应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源

CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源CDX 1000 - P/N FP5201R1/CDX 2000 - P/N FP5315RF/CDX 2000 - P/N FP5318R2/CDX 2000 - P/N FP5319R2/CDX 2000 - P/N FP5320R3/CLF 500 - P/N FP1254R2/CLF 1000 - P/N FP1252R2/CLF 5000 - P/N FP1541RC/CLX 600 - P/N FP1245R1/CLX 2500 - P/N FP1333R2/CLX 2500 - P/N FP1335R2/CLX 2500 - P/N FP1335R4/CLX 2500 - P/N FP1336R3/CPS 500 - P/N FP0112RF/CPS 500AS - P/N FP0113RK/CPS 1000 - P/N FP0213RK/CPS 1001 - P/N FP0213RJ/CX 650 - P/N FP3116R3/CX1250S - P/N FP3212RB/CX 1250S - P/N FP3212RC/AGA-27 60Mhz 2,7kW - P/N/AGA-27A3/ENI / MKS/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-04/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-05/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-04/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-05

美国SEREN（赛恩）电源：

R系列射频电源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13 HR系列射频电源：HR601HRL10011001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001 L系列低频电源：L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源：专用于ICP领域

AT系列自动匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

德国镀膜电源：

PFG300-RF、PFG600-RF、PFG1000-RF、PFG1600-RF、PFG2500-RF、PFG5000-RF

UPS电源在长期使用的过程中需要去保养和维护，一个UPS电源如果能做到正确使用和维护，可达到5～10年的使用寿命乃至更长，下面继续介绍UPS电源保养注意事项

UPS电源保养注意事项:

1、认识UPS电源加强维修的重要性

UPS电源不是普通的稳压电源，不能没有问题时不管，有了问题放之不用。要充分发挥UPS电源性能的特点为计算机系统正常运行服务。

在某些进口UPS电源维修时可能存在一些困难和问题。如没有电路图，在集成电路板有些性能标志、符号被厂家故意抹去，但克服困难还是可以解决的。

2、UPS电源应工作在良好的环境中

UPS电源是用大量的电子元器件构成，这些元器件发挥正常的功能需要一个良好的工作环境。在环境的温度、相对湿度、通风、洁净度等方面应予保证。这一方面往往易被忽略，结果造成故障升高，设备寿命缩短。

3、建立一套经常性和定期性维修制度

同样的UPS电源，由于维修水平不同，其故障率和寿命也不一样。期检查UPS电源各部位的信号和波形，及时发现设备存在始隐患，提早预防。减少运行中的故障，也是延长设备使调寿命的一种手段。

主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。

UPS不间断电源的十项基本功用：

1、电压稳定：市电电压易受电力输送线路品质的影响,离变电所较近的用户电压较高约130~120V,离变电所较远的用户电压较低约100~90V,电压太高或太低会使用户设备缩寿命,严重时会烧毁设备,使用在线式UPS可提供稳定的电压电源,电压变动不到2V,可延长设备寿命及保护设备；

2、停电保护：瞬间停电时立即由UPS不间断电源将电池直流电源转换成交流电继续供电；

3、高低电压保护：市电电压过高或过低时UPS内建稳压器(AVR)将做适当的调整,使市电的电压保持在可使用的范围,若电压过低或过高超过可使用范围,UPS将电池直流电源转换成交流电继续供电,以保护用户设备；

4、频率稳定：市电频率分为50Hz/60Hz两种,所谓频率就是每一秒变动的周期,50Hz就是每秒50周次,台湾市电的频率是60Hz,大陆是50Hz。发电机运转时受到客户端用电量的突然变化造成转速的变动将使转换出来的电力频率飘移不定,UPS不间断电源转换的电力可提供稳定的频率；

5、波形失真处理：由于电力经由输配电线路传送至客户端,各种机器设备的使用,往往造成市电电压波形的失真,因为波形失真将产生谐波设备且会使电力系统变压器温度升高,一般要求失真率<5%,一般UPS设计失真率<3%；

6、电源：配合UPS的智能型通讯接口及软件可纪录市电电压频率停电时间及次数来达到电源的,并可安排UPS不间断电源定时开关机的时间表来节约能源；

7、抑制共模噪声：共模噪声产生在火线/中性线与地线之间；

8、抑制横模噪声：横模噪声产生在火线与中性线之间；

9、突波保护：一般UPS不间断电源会加装突波吸收器或放电设计吸收突波,以保护用户设备；

10、瞬时响应保护：市电受损时有时会造成电压凸出或下陷或瞬间压降使用在线式UPS可提供稳定的电压,使电压变动不到2V,可延长设备寿命及保护设备。