臭氧为混合气体其浓度通常按质量比和体积比来表示。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。卫生行业常用ppm表示臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分之一为1ppm。臭氧浓度是衡量臭氧发生器技术含量和性能的重要指标。同等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品质度就越高。

将清洗后的餐饮用具放入水中通入O3 20 分钟，可去除洗涤剂残留物，杀灭细菌、病毒，替代电子消毒柜，避免餐饮用具传染疾病。还可对衣物、毛巾、抹布、袜子等进行水介质消毒、除味。

臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远高于开放式。

该类臭氧发生器是使用特定波长（185mm）的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。

适用范围

食品加工行业：生产用水、生产车间、包装间、更衣室、无菌间、生产设备工具的消毒。

饮料加工行业：纯净水、矿泉水、各种饮料的生产用水、生产车间、包装间、更衣室、无菌间、生产设备工具的消毒。

果蔬加工行业：果蔬储存、保鲜、加工生产用水、生产车间、包装间、更衣室、无菌间、生产设备工具的消毒的消毒。

冷库保鲜：果蔬、粮食、禽蛋、肉类、水产品等防腐保鲜、延长储存。

制药行业：生产用水、中央空调系统、车间、更衣室、无菌室等消毒。

医药行业：制药厂、医院病房、病床、被服、手术室、医疗器械、无菌室等。

养殖种植业：养鸡、养鱼、蔬菜大棚等杀菌、消毒、除臭、净化空气等。

饮用水：深井水、市政供水、二次加压供水、农村饮用水等。

公共场所：宾馆、饭店、学校、网吧、候车大厅等净化空气、预防交叉感染等。

另外可应用于中水、污水、废水、废气中，及游泳池、游泳馆的水质净化、空气净化等场所。

为了改善放电状况、提高放电效率,人们研究了如线状、刷状、螺线状、网状、水不同形式的电极。且放电形式局限于无声、脉冲流注、电晕、沿面、无声-沿面混合及辉光放电等形式。