硬面光掩模用铬薄膜的标准中，硝酸铈铵蚀刻液用于蚀刻铬膜，

山东德盛新材料有限公司 2025-07-21 15:27:34

硬面光掩模用铬薄膜的标准中，硝酸铈铵蚀刻液用于蚀刻铬膜，优势
无需额外添加缓蚀剂即可实现高选择性蚀刻，减少工艺复杂度。
废液中重金属离子（如 Cu²⁺）可通过离子交换树脂回收，符合 RoHS 环保标准。

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