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化学试剂 Ce(NH4)2(NO3)6
化学试剂 Ce(NH4)2(NO3)6
山东德盛新材料有限公司
2025-07-02 16:23:20
单电子氧化剂can在铜刻蚀技术中具有重要应用,主要基于其强氧化性,可将铜氧化从而实现刻蚀。相关介绍如下: 刻蚀原理:单电子氧化剂can是一种强氧化剂,化学式为 (NH₄)₂Ce (NO₃)₆・2H₂O6。在铜刻蚀过程中,铈铵中的 Ce⁴⁺具有强氧化性,能将铜单质氧化为铜离子,自身被还原为 Ce³⁺,反应方程式可表示为:Cu + 2 (NH₄)₂Ce (NO₃)₆ = Cu (NO₃)₂ + 2 (NH₄)₂Ce (NO₃)₅。 蚀刻液组成1:铈铵可与硫酸等组成蚀刻液,如一种蚀刻铬铜金属的蚀刻液中,,添加剂浓度为 1-50g/l。 应用场景:单电子氧化剂can常用于集成电路制造等领域的铜刻蚀工艺。例如在铜互连结构制造中,可采用湿法刻蚀工艺,利用铈铵和硝的混合液去除相关金属阻挡层,以便进行后续的铜电镀等工艺3。它还可用于印制电路板(PCB)制造中,对铜箔进行刻蚀,形成所需的电路图案。 优点:铈铵参与的刻蚀工艺具有一定优势,如刻蚀速率较快,能够提高生产效率;可通过调整蚀刻液成分和工艺条件,较好地控制刻蚀速率和刻蚀精度,满足精细线路制作的要求。
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