美国SEREN电源维修(SEREN射频匹配器)包括:
R系列射频电源:R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13,R600
HR系列射频电源:HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001
L系列低频电源:L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源
用于ICP领域AT系列自动匹配器:AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250
射频电源维修注意事项:
在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、IGBT管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等)
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