500元2022-11-16 07:58:25
1,可以按设计人员的设计要求进行掩模板图形的任意更改,方便快捷成本低。
2,电极掩模板中小的缝隙可以达到0.03(30微米),小线宽可做到0.015(15微米)。
3,位置精度高可达+/-0.003,解决一块产品需多层蒸镀,每层间的重复对位的位置精度。
4,材料厚度可由客户,华诺精密长期库存材料从0.03-0.10,能为客户提供快速稳定的服务。
光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。