纳米级光学干涉测厚仪应用：?PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层产品简介：PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学，用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制，能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度，精确度可达纳米级。PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪，其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司，其微型光谱仪体积小巧，可对全谱进行快速采集，产品应用广泛，可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业，可进行 Low-E玻璃镀膜检测，ITO玻璃镀膜检测，PET涂布在线膜厚检测，金属表面涂层检测，半导体，LCD膜厚检测等。

工作原理：?分光干涉法当光入射到样品内部，会发生多重反射现象，多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱，而相位差取决于样品的折射率和光程，因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种独特的光谱分析出样品的厚度，该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。??适用前景：??PET薄膜厚度测量?涂层厚度测量，如HC，保护膜，光刻胶，OCA，离型膜等涂布厚度或克重的测量?用于包装的PET表面介质膜克重或膜厚测量?金属表面透明和半透明漆膜涂层?产品优势：在线扫描式或多点测量（多达15点）同时测量通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量提醒及警报功能(通过或失败)反射(透射)和光谱测量同步测量多层厚度高速、高准确度??参数：型号PSD-2000WPSD-2000PPSD-2000R可测膜厚范围15 nm - 100 um2nm - 200 um200nm-3000um测量可重复性0.02?μm测量准确±1%光源钨卤素灯测量波长380 - 1050 nm250 - 1050 nm900 - 1200 nm光斑尺寸约φ1?mm工作距离10?mm可测层数多10层分析FFT?分析，拟合分析测量时间19?ms/点外部控制功能Ethernet接口USB?2.0（主单元与电脑接口）；RS-232C（光源与电脑接口）电源AC100?V — 240?V,?50?Hz/60?Hz功耗约330W（2通道）~450W（15通道）??PSD-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪? ??用途：·太阳能减反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光学玻璃镀膜等测量。·PET膜透明胶膜厚测量·膜厚，颜色，粗糙度，透过率，反射率，雾度·可用于实验室离线测量技术水平：·精度0.1%，达到国际同类产品水平·检测透明和半透明涂层·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪，具有测量速度快，测量准确，操作简便的特点。???技术参数：产品类型可见光紫外+可见光厚度测量15nm-100μm1nm-100μm折射率厚度要求100nm以上厚度要求50nm以上准确性2nm或0.5%精度0.1nm测量时间小于1秒光斑大小大约1mm??软件：

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