产品参数产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

产品特点1. 非接触式测量：避免物件受损。2. 三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。3. 多重视野镜片：方便物镜的快速切换。4. 纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。5. 高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。6. 扫描仪：采用闭环控制系统。7. 工作台：气动装置、抗震、抗压。8. 测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

在线检测方法是广为生产线所接受的质量监测方法。与传统的接触式非在线检测相比，非接触式在线检测不需要取下产品或停止生产，就可对产品进行高品质的监控，而且在获得实时数据的同时，并不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。

SuperViewW1白光干涉光学轮廓仪以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。