本次研究中采用目前在封装行业广泛使用的箱体式等离子清洗机进行工艺实验，在净房内完成本次实验研究。工艺流程：真空泵开始投入工作，达到清洗材料所需真空度；辉光电源开启，流量计开启，辉光清洗特定工艺时间；关闭辉光电源，关闭流量计；真空泵关闭后，充入化学反应不积极的惰性净化气体，使箱体内真空度达到大气压后完成清洗过程。最大的优点是可实现各种尺寸和各种结构产品的干净清洗，无废液、无污染源产生。本次试验采用 SDC-100 型号水滴角测量仪，对实验材料进行水滴角测量。在材料未进行等离子清洗前，测量材料表面水滴角，测得的接触角为 90°左右。材料表面滴水如图 1 所示。实验采用 200W 功率，真空度为 10Pa，工艺气体选择氩氢混合气，流量为 100mL/min，清洗时间为 300s。产品经过等离子清洗后，测得的接触角在 20°以下。清洗后产品表面滴水如图 2 所示。通过实验清洗前后的测试数据结果可知，材料经过等离子机清洗后，产品表面的接触角由未清洗前的 90°下降到清洗后的 20°以下，说明通过等离子机清洗的方式能够有效去除产品表面的各种杂质和污染物，从而提高材料键合打线的强度，有效去除后续芯片封装时会出现的分层现象。

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薄膜电晕机可能很多没听过这个设备，感官上认为这是一种电机设备，但是薄膜电晕机可不是什么放电设备，是一种硅橡胶、塑胶和其他材料的表面前处理的设备。电晕处理机在包装行业俗称电晕机、电子冲击机、电火花机。在学术上被称为介质阻挡放电。主要用于塑料薄膜类或塑料板材类制品的表面处理，当要对上述材料进行油墨印刷、复合、吹膜、涂布、胶粘、材料改性、聚合、镀膜、流延、粘贴。加工前，为了使产品的表面具有更强粘附力(即具有更高的达因系数)，防止原材料在生产过程中出现印刷甩色、复合粘贴不牢固、涂布漏胶不均匀等现象，影响了产品质量，必须先进行电晕冲击处理。薄膜电晕机是利用高频高压电源，在放电极与电晕辊之间产生电晕，形成低温等离子区，通过两极之间的空气电离，产生臭氧，臭氧是一种氧化剂，可以立即改变塑料表面的分子结构，使其由非极性转化为极性。同时电晕后会使材料表面呈微小凹凸不平的孔穴使其表面粗化，增强表面活性，这样表面张力得到提高后，既油墨、胶水等就能进一步渗透到被处理材料上，从而达到理想的印刷及上胶效果。

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如何理解电晕处理机的工作原理?可用于聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚酰胺、聚酯、聚碳酸酯、氟化塑料及各种相应的共聚物，是一种提高塑料表面润湿性和附着力的装置。为了让客户更好的理解这些内容，奥富电子工作人员总结了以下三点便于理解。电晕处理机工作的形式称为冷膜处理，它是在膜后处理生产线上进行的。这种治疗方式的质量也与电影体验有关。如果膜在生产后长时间储存，大量的沉淀添加剂附着在膜的表面，处理质量就会变差。在选择这种形式时，还应注意火花是否会引起所使用溶剂的着火。一种工作形式是热膜处理。与前一种形式大的区别是加工效果较强，因为聚合物分子还没有完成结晶，但一般只适合立即再加工(如印刷、涂布或复合)的薄膜加工。

此外，电晕处理机在薄膜生产线上进行处理，然后在薄膜后处理生产线上进行另一个处理，这是传统的第三种形式。这种方法更适合于处理质量较差的，或处理后的贮藏时间已经很长，处理效果已经褪色很多的膜。

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