将清洗后的餐饮用具放入水中通入O3 20 分钟，可去除洗涤剂残留物，杀灭细菌、病毒，替代电子消毒柜，避免餐饮用具传染疾病。还可对衣物、毛巾、抹布、袜子等进行水介质消毒、除味。

按冷却方式划分，有水冷型和风冷型。臭氧发生器工作时会产生大量的热能，需要冷却，否则臭氧会因高温而边产生边分解。水冷型发生器冷却效果好，工作稳定，臭氧无衰减，并能长时间连续工作，但结构复杂，成本稍高。风冷型冷却效果不够理想，臭氧衰减明显。总体性能稳定的高性能臭氧发生器通常都是水冷式的。风冷一般只用于臭氧产量较小的中低档臭氧发生器。在选用发生器时，应尽量选用水冷型的。

按介电材料划分，常见的有石英管（玻璃的一种）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种类型。使用各类介电材料制造的臭氧发生器市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用最早的材料之一，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种新型介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。

该类臭氧发生器是使用特定波长（185mm）的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。

该类臭氧发生器其特性是采用新型PEM膜用低压直流导通固态膜电极的正负两极电解去离子水，水在特殊的阳极溶液界面上以质子交换的形式被分离为氢氧分子，氢从阴极溶液界面上直接被排放，氧分子在阳极介面上因高密度电流产生的电子激发而获得能量，并聚合成臭氧分子。比较常规电晕法发生器的制取方式，有以下优点：

1.所产生的臭氧气体浓度高，重量比数倍于电晕法臭氧发生器，最高可达到20%（大于250mg/L）

2.所产生的臭氧气体中，不含氮氧化合物（NOx），无致癌物质。

3.工作时抗环境湿度影响高达85%，即使在潮湿的环境下工作下，也能稳定地保持臭氧产量。

4.由于使用直流低电压电解方式，工作时不会产生电磁波和噪音，与其它精密仪器共同工作时，不会造成干扰。

5.因所产生的臭氧浓度高，投入水中同等值的臭氧量，用本方式可达到较高的水中剩余臭氧浓度，即可对饮用水进行彻底灭菌与消毒，并可制出高浓度的臭氧水（消毒剂）

6.拥有超强的使用寿命，数倍于电晕法臭氧发生量，膜电极使用寿命超强。

无声放电(即介质阻挡放电)的电介质是无声放电臭氧发生器的重要组成,其作用为强化气隙的电场强度以利于产生放电;防止气隙击穿,同时减小功率消耗;使气隙的电场均匀,扩大放电区域,利于臭氧的产生。一般而言,电介质的介电系数越高,导热性能越好越利于产生臭氧。臭氧发生器所用的电介质主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有机材料等多种类型。